Resistiv
En resistiv sensor er en enhed, der konverterer målte fysiske størrelser såsom forskydning, deformation, kraft, acceleration, fugtighed, temperatur osv. til modstandsværdier. Der er hovedsageligt resistiv strain gauge, piezoresistiv type, termisk modstand, termisk, gasfølsom, fugtfølsom og andre resistive sensorenheder.
Resistiv strain gauge
De resistive strain gauges i sensoren har en metallisk strain-effekt, dvs. der sker mekanisk deformation under påvirkning af en ekstern kraft, således at modstandsværdien ændres tilsvarende. Der er to hovedtyper af modstandstøjningsmålere: metal og halvleder, og metalspændingsmålere er opdelt i trådtype, folietype og tyndfilmstype. Halvleder-strain gauges har fordelene ved høj følsomhed (normalt snesevis af gange den for tråd- og folietyper) og lille tværgående effekt.
Piezoresistiv
Piezoresistive sensorer er enheder fremstillet af diffusionsmodstand på substratet af halvledermaterialer i henhold til den piezoresistive effekt af halvledermaterialer. Substratet kan anvendes direkte som et målefølende element, og diffusionsmodstanden er forbundet med underlaget i form af en bro. Når underlaget deformeres af en ekstern kraft, vil modstandsværdierne ændre sig, og broen vil producere et tilsvarende ubalanceret output.
Substratmaterialerne (eller membranen) brugt som piezoresistive sensorer er hovedsageligt siliciumwafers og germanium wafers, og silicium piezoresistive sensorer lavet af siliciumwafers som følsomme materialer har tiltrukket sig mere og mere opmærksomhed, især for solid-state piezoresistive sensorer, der måler tryk og hastighed.
FTU
Modstandstemperaturmåling er baseret på, at modstanden af en metalleder stiger med stigende temperatur. Termisk modstand er for det meste lavet af rene metalmaterialer, hvor platin og kobber er de mest udbredte, og materialer som nikkel, mangan og rhodium er begyndt at blive brugt til at fremstille termiske modstande.
RTD-sensorer måler temperatur- og temperaturrelaterede parametre ved at bruge det faktum, at modstandsværdien ændrer sig med temperaturen. Denne sensor er mere velegnet til lejligheder, hvor temperaturdetektionsnøjagtighed er påkrævet. De mere omfattende RTD-materialer er platin, kobber, nikkel osv., som har karakteristika af stor modstandstemperaturkoefficient, god linearitet, stabil ydeevne, bredt temperaturområde og nem behandling. Den bruges til at måle temperaturen i området -200 grader ~+500 grader .